排烟系统在洁净厂房内的设置
随着现代工业的发展，对实验、生产和研究的环境要求越来越高，空气调节技术的内容也越来越广泛，净化车间，其中对于空气净化的要求越来越多。洁净室对空气中悬浮微粒数量控制要求严格，洁净室被要求尽量做到密闭，以保证有效地阻止室外污染侵入室内（或有效地防止室内污染逸至室外）。洁净室要求房间密闭，不可能再采用一般厂房常用的开窗方式进行排烟，其排烟系统需要可靠的保证。
现行《洁净厂房设计规范》对排烟的规定是要在疏散走道内设机械排烟系统，现行的《建筑设计防火规范》规定丙类厂房中面积大于300m2且可燃物较多的或经常有人停留的房间需设置排烟系统，这些要求在现行的洁净室设计中均能得到良好实施。
洗手消毒设施 车间入口处要设置有与净化车间内人员数量相适应的洗手消毒设施，洗手龙头所需配置的数量，配置比例应该为每 10 人1 个，200 人以上每增加20人增设1个。洗手龙头必须为非手动开关，洗手处须有皂液器，并有热水供应，出水为温水。 盛放手消毒液的容器，在数量上也要与使用人数相适应，并合理放置，以方便使用。干手用具必须是不会导致交叉污染的物品，净化车间哪家好，如一次性纸巾，消毒毛巾等。 在净化车间内适当的位置，应安装足够数量的洗手，消毒设施和配备 相应的干手用品，以便工人在生产操作过程中定时洗手，消毒，净化车间工程，或在弄脏手后能及时和方便地洗手。 从洗手处排出的水不能直接流淌在地面上，净化车间报价，要经过水封导入排水管。
卫生间 为了便于生产卫生管理，与净化车间相连的卫生间，不应设在加工作业区内，可以设在更衣区内。卫生间的门窗不能直接开向加工作业区，卫生间的墙面，地面和门窗应该用浅色，易清洗消毒，耐腐蚀，不渗水的材料建造，并配有冲水，洗手消毒设施，窗口有防虫蝇装置。
送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
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